在半导体制造中经常会遇到需要将一个机台扩展到另一个机台中或者评价两组数据是否符合要求，这个时候就需要利用质量工具据来进行判定新的机台是否能够进入产线生产，一般采用MR table
MR：match rule 匹配规则
M.R-1 ≤1无明显差异，M.R-1 >1.0有显著差异；M.R-2 ≤1.5无明显差异，M.R-2 >1.5有显著差异
M.R-1公式：M.R-1=|New.AVG-BSL.AVG|/σ.BSL,其中New.AVG代表新数据的平均值，BSL.AVG代表原本数据的平均值，New.AVG代表原本数据的标准差。
M．R-2公式：M．R-2=σ1/σ2；它代表着数据 1 与数据 2 两者之间的离散程度。当 M.R-2≤1.5 时，表示扩展的机台对应的数据与 BSL （baseline）机台对应的数据（如THK、CD）离散程度一致，这样的机台扩展是可以被接受的，能够放心地用于生产.
M．R中遇到的两个主要数据：
1、平均值：就是算术平均值。计算方法如下：
2、标准差即样本中各个个体与其平均数的差的平方的算术平均值的平方根，反映的是一个数据集的离散程度，值越大，越离散，即个体间差距越大。公式如下：